中古 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9276479 を販売中
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ID: 9276479
ウェーハサイズ: 4"-6"
ヴィンテージ: 2011
Double side polisher, 4"-6"
Maximum down force: 500 Kg
Down force range: 0-500 Kg
Upper ring assembly weight: 530 Kg
Plate dimension:
Lapping: φ1125 x φ393 x 50 t
Polishing: φ1154 x φ364 x 50 t
Lower plate RPM: 15 to 60 RPM, 50/60 Hz
Main cylinder: φ160
Upper and lower plate driver motor: 7.5 kW
Ring gear drive motor: 2.2 kW
Sun gear drive motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear Up / Down motor: 0.4 kW
Options:
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.18 kW
Breaker capacity: 75 Amps
Air supply: 6 Kg/cm²
(5) Carriers
Carrier:
M: 3
Z: 142
Ring gear:
M: 3
Z: 395
Sun gear:
M: 3
Z: 110
Power supply: 220 V, 3 Phase, 50/60 Hz, 19.68 kW
Power supply: 220 V, 3 Phase, 60 Cycles
2011 vintage.
SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、最短時間で優れた表面仕上げを達成するために実績のある信頼性の高い研磨技術を利用した最新のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この多機能ユニットは、単一のモータ駆動研削ホイールと5つの独立したラッピングおよび研磨モジュールで構成されています。最初のモジュールは、緩い研磨剤またはスラリー研磨剤のいずれかで使用することができる研削媒体の統合セットを備えたラッピングシステムであり、2番目のモジュールは柔らかい材料と硬い材料の両方で仕上げるための個別のラッピングホイールです。3番目と4番目のモジュールは、ガラスやダイヤモンド研磨などの研磨プロセスを実行しています。さらに、5番目のモジュールは、特定の表面仕上げを達成するために特別な圧力源で使用するために専用されています。DSM 16B-5Lには、セットアップ時間を最小限に抑え、作業の効率を最大限に高めるための自動ローディングとアンローディングユニットも含まれています。さらに、この機械には、あらゆる部品に非常に精密な生産能力を提供する高度なコンピュータ化された数値制御（CNC）ツールが装備されています。オペレータは、処理するコンポーネントごとにさまざまなパラメータをプログラムすることができ、アセットは目的のプロセスパラメータを自動的に登録します。このユニットはまた、メディアと研磨材を研削するための完全な機能を提供しています。クローズドループ冷却モデル、調整可能な水スプレーノズル、および粉砕媒体上の破片の蓄積を最小限に抑え、粉砕作業の最適な効率を確保するための粉塵処理装置が含まれています。SPEEDFAM DSM 16B-5Lはメンテナンスが簡単で、自動化された操作によりオペレータの監視がほとんど必要ありません。それは競合モデルよりも小さいフットプリントを持っており、非常に費用対効果が高いです。さらに、精密モータは非常に低い振動と騒音レベルを提供します。全体として、DSM 16B-5Lはあらゆる製造環境に最適です。自動化された操作と正確な結果により、表面仕上げに優れた精度と再現性を提供することができます。
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