中古 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9275877 を販売中

SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、包括的で多機能で信頼性の高いプロセスソリューションを提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。このウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造の過程で重要なステップのすべてを実行するように設計されており、研削、ラップ、研磨する必要のあるデバイスの要件に合わせて簡単にカスタマイズできます。DSM 16B-5Lには、ウェーハ研削ステーション、ウェーハラッピングステーション、ウェーハ研磨ステーション、ピックアンドプレイステーションが装備されています。システムのウェーハ研削ステーションは、最大6,000rpmの速度で研削および/または事前研削が可能であり、正確な制御のためにDCモータによって駆動されます。このユニットには、線形ステージを備えた精密なエアベアリングと、正確で反復可能で安定した研削を保証するモーター付きスピンドルも含まれています。また、安定した信頼性の高いウェーハ搬送ツールを提供する真空チャックを搭載しています。SPEEDFAM DSM 16B-5Lのウェハラッピングステーションには、DCモーター制御、精密なエアベアリング、ラッピングプロセスを正確に制御するためのリニアステージも装備されています。このアセットには、ダイヤモンドスラリー、シリカスラリー、セラミックスラリーなどのさまざまな研磨媒体も含まれています。モデルのウェーハ研磨ステーションは、効率的で反復可能な表面研磨プロセスを提供します。このステーションのモーター付きスピンドルは、スムーズで安定した出力で最大7000rpmの回転速度を提供できます。さらに、グリップ治具を備えた精密なエアベアリングを搭載し、安全で安定した研磨プロセスを実現しています。最後に、機器に搭載されているピックアンドプレイステーションにより、最大34個のウェーハをフレキシブルに取り付けることができます。精密モーションアックス、真空テーブルマニピュレータ、DCモーター、小型バルブを多数装備しており、再現性と精度の高いウェーハ加工が可能です。全体として、DSM 16B-5Lは包括的で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ソリューションを提供します。これは、最も厳格なマイクロエレクトロニクスデバイス製造タスクの要求を満たすために、絶え間なく、一貫して優れたプロセス性能を提供するように設計されています。