中古 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9245378 を販売中

SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、超精密なウェーハ研削、ラッピング、研磨操作のためのソリューションです。この装置は、研削、ラッピング、研磨のプロセスを簡素化し、スループット時間の増加とワーク精度の向上を可能にします。このシステムは、直径10インチまでの片面および両面ウェーハを研削、ラッピング、研磨することができ、さまざまなウェーハ用途に最適です。DSM 16B-5Lは、ユーザーフレンドリーなプログラマブルロジックコントローラ（PLC）を備えています。このPLCは、精度と再現性でさまざまなプロセスパラメータを制御することができます。このユニットには、研磨前の部品の清潔性を確保するために使用できる真空チャックとウェーハクリーニングステーションも含まれています。ベルトテーブルには30度の傾き範囲があり、ユーザーはウェーハを任意の角度に配置して最大の精度を得ることができます。ウェーハローダーと粗研削ステーションも付属しており、ウェーハの積み込みが容易で、多数のウェーハを素早く研削できます。SPEEDFAM DSM 16B-5Lには精密ラッピングと研磨機が装備されており、精密で再現性のある結果を得ることができます。このツールは、異なる部品の同時研磨と研磨を可能にするデュアルヘッドポリッシャーヘッドを備えています。このアセットには、コンピューター数値制御（CNC）ポリッシャーも搭載されており、ポリッシャープロファイルが豊富に用意されており、ウェーハの研磨の無限の可能性を促進します。さらに、低圧、低摩耗サブミクロン研磨が可能です。DSM 16B-5Lは、優れた精度と再現性を提供するように設計されています。装置は0〜158°Cの温度で動作し、ウェーハ転送速度は毎分12〜18インチです。また、レーザーユニットを内蔵し、0。0001インチ以内の精度で研磨ウェハの平坦度を測定することができます。SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨ニーズに対応する完全なソリューションをユーザーに提供するように設計されています。高精度の機能、ユーザーフレンドリーなPLC、幅広いプロセスパラメータにより、精度と再現性を必要とするあらゆる操作に最適です。