中古 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9235706 を販売中

SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、半導体製造業界の厳しい要件を満たすように設計された革新的なウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。この汎用性の高い機械は、モノクリスタルシリコン、サファイア、銅など、さまざまな材料の研削、ラッピング、研磨に最適です。システムは、研削ヘッドとラッピング/研磨ヘッドの2つの主要なコンポーネントで構成されています。研削ヘッドは2つの固定スピンドルで構成されており、最適な結果を得るために異なる研削ホイール速度で動作するように設定することができます。ラッピング/研磨ヘッドは、2つの電動ステージで構成されています。1段目は粗研削とラッピングが均一な表面仕上げを実現するように設計されており、2段目は微細な研削と研磨を目的としています。DSM 16B-5Lは、操作を直感的かつ簡単にするように設計されたいくつかの革新的な機能を備えています。プログラマブルコントロールユニットを使用すると、異なる研削または研磨パラメータを選択できます。機械は異なった車輪の速度、回転速度、infeed率および圧力設定とプログラムすることができます。また、自動的にホイール摩耗を補償するスピンドルリングと、さまざまな安全インターロックを備えています。SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、自己診断ソフトウェアと定期的なメンテナンス診断レポートを使用してメンテナンスを容易にするように設計されています。さらに、ツールのコンポーネントはモジュール化されており、必要に応じてコンポーネントを追加または削除できます。最後に、アセットはさまざまなウェーハおよび基板サイズと互換性があります。DSM 16B-5Lは、最適な結果と操作の容易さを提供する信頼性と汎用性の高い研削、ラッピング、研磨モデルです。革新的な機能により、高収量の半導体製造に最適で、均一な表面を持つ半導体ウェーハや基板を迅速かつ正確に製造できます。