中古 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9235618 を販売中

SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、半導体、マイクロエレクトロニクス、光学、その他の産業で使用される強力で精密なウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。シリコン、サファイアなどの平面表面の仕上げ研磨に適しており、幅広い用途に対応した汎用性の高いシステムです。DSM 16B-5Lは、メインプラットフォームと、ウェハカセット、圧力ユニット、スピンドルおよび振動アセンブリなどのいくつかのモジュラーコンポーネントで構成されています。メインプラットフォームはマシンのベースであり、信じられないほど頑丈です。それは長期耐久性のために設計されている産業等級、溶接された鋼鉄フレームおよび版の用具で構成されます。メインプラットフォームは、1つまたは2つのスピンドルと振動で構成することができます。ウェーハカセットは、モデルにウェーハを装填するためのカセットトレイ、真空源、リフト機構、ウェーハ搬送ステーションで構成されています。圧力装置は、作業中にウェーハに正確な均一な圧力を適用します。高トルク、三相モータ、0.1MPa精度の制御システムで駆動します。圧力ユニットには、各ウェーハに印加された圧力を微調整するための温度監視および制御装置も備えています。スピンドルと振動アセンブリは、高性能モーター、耐久性のあるベアリング、5MHzまでの周波数応答、および最先端の振動減衰ツールで構成されています。高トルク材料の除去、微細なラッピング・研磨作業に対応可能です。SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、ウェーハ表面に滑らかで正確な仕上げを提供し、半導体業界の規格の要件内で表面粗さを制御することができます。また、圧力、速度、振動の設定など、さまざまなマクロ設定を提供し、さまざまな種類のウェーハ材料の研磨および研磨プロセスをカスタマイズすることができます。この柔軟性により、幅広いアプリケーションに最適です。