中古 SPEEDFAM DSM 16B-5L #9235617 を販売中

SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、シリコンウェーハ生産ラインの生産能力を拡大するために、オートメーション、精度、汎用性のレベルを提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、および研磨装置です。このシステムは、6インチ（150mm）および8インチ（200mm）のウェーハ上でグレーティング、ラッピング、研磨（GLP）操作を行うことができるため、高精度で均一なシリコン表面を必要とする最先端のデバイスの製造に最適です。このユニットは、最先端のCNC （Computerized Numerical Control）技術を使用して、材料除去に使用される研磨材の経路を正確に制御し、非常に正確なラッピングと研磨作業を可能にします。研削ヘッドを構成するセグメントは、ストレートとスパイラルの両方の研削パターンを実行する能力で、個別に制御することができます。これにより、ユーザーは完成品の所望の表面粗さと均一性に応じて研削パターンを調整することができます。セグメントを連動させることで、研削と研磨を同時に行うことができます。DSM 16B-5Lは全除去率、個々の車輪の速度、および磨く力のようなプロセス制御変数を提供するように設計されています。この機械はまた水スプレー、推圧圧力および潤滑油の配達のような変数の広い範囲を提供し、長期プロセス再現性および一貫性を保障します。また、高速研削・研磨作業時の温度・振動・表面粗さの制御を可能にするモーションコントロールツールを搭載しています。このアセットは、既存のウェーハ生産ラインと容易に統合できるように設計されており、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供することで、オペレータのトレーニング時間を短縮し、幅広いプロセス設定を簡単に最適化できます。また、プロセス制御の自動化、レシピの自動設定、プロセス終了時の品質チェック、表面仕上げのリアルタイム監視など、各工程ステップの有効性を判断できるツールや機能も多数搭載しています。これらの機能は、高品質で一貫した生産結果を保証します。SPEEDFAM DSM 16B-5Lは、今日のウェーハ研削、ラッピング、研磨作業の厳しい要件を提供する、汎用性の高い堅牢な機器です。精密でユーザーフレンドリーな設計により、精密なシリコンウェーハ製造に最適です。