中古 SPEEDFAM DSM 16B-5L-III #9222184 を販売中

SPEEDFAM DSM 16B-5L-IIIは、スループットと精度を向上させる機能を備えた半導体部品を製造するためのウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。内径2軸精密研削面16インチ（500mm）を搭載し、5軸補間されたコンピュータ数値制御精度を備えています。SPEEDFAM DSM16B-5L-IIIは、高速スピンドルとCNCエアサーボ駆動回転テーブルを使用して、2.5µmの研削精度を達成し、8µmの連続ラッピング設備と0.1µmの研磨動作を実現しています。DSM 16B-5L-IIIには、複数のダイヤモンド研削ホイール、光学研磨ベースプレート、剛性回転アーバ、および正確な表面研削操作に使用できるさまざまなダイヤモンド圧縮機など、標準研削、ラッピング、研磨工具およびアクセサリの包括的な範囲が装備されています。また、研削パラメータの正確なアライメントのための特別なゲージ、安全性の向上のための透明カバー、ほこりや破片の収集のための調整可能な真空システムを備えています。その容易プログラム可能なCNCの単位は機械の操作を制御するのに使用されオペレータは表面速度、供給率、働く圧力および他の変数を調節できます。このマシンは、ソフトウェア制御の発振テーブルで設計されており、研削、ラッピング、研磨プロセス中の再現性と精度を向上させます。DSM16B-5L-IIIはまたさまざまな円形、正方形および平らな表面の精密な粉砕に使用することができます。また、統合された水冷アセットを備えた包括的な衛生ツールが装備されており、目詰まりや汚染のリスクなしに望ましい表面仕上げを実現します。これらの機能はすべて、SPEEDFAM DSM 16B-5L-IIIウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスに最適なツールです。その柔軟なモデルは、大量生産だけでなく、シングルワーク操作にも適しています。この装置は、さまざまな製造ニーズに対応する強力で費用対効果の高いソリューションを提供します。