中古 SPEEDFAM Auriga #9114132 を販売中

SPEEDFAM Aurigaは、汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。この最先端の装置は、高度なモーションコントロール技術、強力な駆動スピンドル、動的な非接触エアベアリング容量により、半導体ウェーハの正確かつ効率的な平面化と欠陥除去を提供します。Aurigaプラットフォームは、インクリメンタルムーブメント用のマイクロステップ制御、強力なスピンドルモーター、クローズドループ速度制御、自動工具交換など、幅広い機能と機能を備えています。これにより、一貫した高精度ウェーハ研削、ラッピング、研磨が保証されます。また、素早く簡単に切替えができるため、各種基板の加工が可能です。SPEEDFAM Aurigaは、生産サイクル全体で最適な容量、スループット、効率を実現するよう設計されています。6つのスピンドルを使用して、ウエハの最適な研削、ラッピング、研磨を提供します。各スピンドルは最大2軸の制御が可能で、研削力を素早く簡単に調整できます。さらに、多方向モーション機能により、Aurigaシステムの操作の柔軟性が向上します。SPEEDFAM Aurigaは、ステンレス、アルミニウム、2つの組み合わせなど、幅広い先進材料で構成されています。この物質的な構造は寿命の持続期間のための耐久および信頼できる性能を保障します。Aurigaの最大研削範囲は2895×2357 mmで、最も要求の厳しいアプリケーションにさまざまなオプションとサポートを提供します。SPEEDFAM Aurigaユニットは、高度なモーションコントロール技術を使用して、多軸座標移動へのダイナミックな応答を可能にします。機械の精密動作と堅牢な構造は、従来の研削システムよりも信頼性が高いことが証明されています。さらに、様々なフィード、フォーム、エッジ補正アルゴリズムは、研削能力におけるユーザーの汎用性を提供します。また、ラッピング、研削、研磨などの複数の研削技術を使用してウェーハを研削することもできます。高度な技術により、幅広い半導体ウェーハ研削、ラッピング、研磨要件に効率的かつ安全なオプションを提供します。スピンドルと非接触エアベアリングは、クローズドループ制御環境で動作するため、ウェーハの粒度とラッピングの精度が向上します。要するに、SPEEDFAM Aurigaは、半導体ウェーハの配列のための高度な研削、ラッピング、研磨機能を提供します。その堅牢な構造、精密なモーションコントロール、強力なモーター、および非接触エアベアリングは、それを最高品質の結果を達成するための信頼性の高い効率的なマシンにします。