中古 SPEEDFAM Auriga EC #9198717 を販売中

SPEEDFAM Auriga ECは、マイクロプロセッシング技術の優れた精度を可能にするように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この強力なシステムは、円形フラットウエハ、テーパーウエハ、両面ウエハ、セラミックウエハなど、あらゆる形状のウエハを含む、20 μ mから200 μ mのサイズのウエハを研削、ラッピング、研磨することができます。さらに、Auriga ECは最大200ºC 20ºCの表面温度までのウェーハに対応できます。SPEEDFAM Auriga ECは、高精度のインテリジェントコントロールユニットを搭載しています。このマシンは、研削と研磨の両方の作業のための正確なウェーハの位置決めと最適化を保証します。このツールは同時に両面処理も可能で、ツールヘッドの両側で最大2つの複数のウェーハ構成に対応できます。このウェーハ研削、ラッピング、研磨資産は、精度とスピードで最高品質の結果を提供するように設計されています。研削工具としてだけでなく、より精度の高いウェーハの研磨工具としても活躍します。このウェーハ研削モデルには、研削プロセスの簡単なユーザー制御を可能にするさまざまな機能があります。手動および自動粉砕制御のような特徴はユーザーが彼らの状態のための最も適切な粉砕プロセスを選ぶことを可能にします。さらに、Auriga ECには人間工学に基づいたデザインもあり、あらゆる作業環境で安全かつ効率的に使用することができます。さらに、SPEEDFAM Auriga ECの堅牢な構造と内蔵の安全機能により、要求の厳しいウェーハ処理アプリケーションに最適です。そのステンレス鋼の構造および頑丈な部品は機械および性能の長寿を保障します。最後に、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスの不規則性を検出し、直ちにユーザーに通知して改善アクションを可能にするさまざまなセンサーも装備されています。これにより、最小限の廃棄物で最高品質の結果が保証されます。