中古 SPEEDFAM Auriga EC #293808015 を販売中
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SPEEDFAM Auriga ECは、さまざまな半導体およびオプトエレクトロニクス用途向けに設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、12インチまたは300ミリメートルまでの大小のウェーハの両方を処理することができます。Auriga ECは、さまざまな研磨ディスクとダイヤモンド研磨パッドと交換可能な多数の研磨および研磨ヘッドを使用しており、ウェハのサイズと形状に合わせて調整することができます。このユニットには、25ミクロン、50ミクロンの厚い反りのないウェーハなどの繊細な基板に高精度の表面研削と仕上げが可能なモジュラー研削ステージが装備されています。さらに、SPEEDFAM Auriga ECは、最も困難なサンプルでも優れた仕上げ品質の結果を提供するユニークなラッピングヘッドを備えています。ナノメートルレンジの微細なキズやキズまで基板を研磨することができます。ラッピングヘッドは、表面平坦性を高めることができますが、それでも厳しい製造公差を可能にします。さらに、Auriga ECには高度なプロセス制御ツールを含む幅広い高度な機能があり、設定された材料の研削、研磨、平面化のニーズに応じて機械パラメータを自動的に調整します。このアセットの組み込み機能は、データを別の処理機に自動的に転送する機能であり、手動で干渉することなく継続的な生産作業を可能にします。SPEEDFAM Auriga ECは、さまざまな機能と機能を備えた高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。この装置は、精密研削が可能なモジュラー研削ステージを持ち、最高レベルの表面仕上げ品質のためのユニークなラッピングヘッドを持ち、自動プロセスパラメータ最適化のための洗練されたプロセス制御システムを備えています。さらに、Auriga ECは、生産スループットを向上させるための自動データ転送機能を提供します。このユニットは、大小の半導体とオプトエレクトロニックウエハの両方に厳しい公差を持つ高度なプロセスに最適なソリューションです。
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