中古 SPEEDFAM Auriga EC #293808014 を販売中
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SPEEDFAM Auriga ECは、一貫した高品質のウェーハを製造する汎用性の高い自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。量産環境において、異なる種類のウエハを正確かつ再現可能に仕上げられるように設計されています。シングルパス技術と統合されたメディアリサイクルシステムにより、材料使用量を最小限に抑えて最大のスループットを提供します。Auriga ECには4つの独立した処理ステーションがあります。荒い粉砕のための1つ、ラッピングのための1および磨くことのための2。大量生産のための費用対効果の高いソリューションとして、SPEEDFAM Auriga ECは一度に最大8つのウエハを処理します。高い歩留まり、スループット、ウェーハ状態の保持を可能にします。Auriga ECは直感的なタッチスクリーンコントロールユニットを備えており、最大180のレシピを保存し、速度、温度、圧力などのプロセス条件にリアルタイムでフィードバックすることができます。このプロセスコントロールモニタマシンは、ユーザーがプロセス全体を密接に監視し、メンテナンスのダウンタイムを減らすことができます。SPEEDFAM Auriga ECには継続的なメディアリサイクルツールがあり、最大の収量と低コストを保証します。また、プログラム可能なスラリー注入と流量設定を使用して、処理中のスラリーの濃度を密接に調整することができます。それは最適な結果を保障するためにさまざまなスラリーのタイプおよび集中と使用することができます。さらに、Auriga ECには精密サーボドライブが搭載されており、処理中のウェーハの正確な位置決めが可能です。滑らかな動きにより、均一な材料除去が可能であり、ウェーハの損傷を防ぎます。その内蔵真空アセットは、空中粒子を排除し、オペレータのためのより安全な環境になります。最終的に、SPEEDFAM Auriga ECは、大量生産環境のための高品質のウェーハの信頼性と再現性の高い仕上げを提供します。それは直感的なタッチスクリーンの制御モデル、連続的な媒体のリサイクル装置および精密サーボドライブそれにあらゆる操作のための完全なウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨くシステム作ります。
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