中古 SPEEDFAM Auriga EC #141545 を販売中

SPEEDFAM Auriga ECは、半導体ウェーハの精密研削・研磨用に設計された完全自動ウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。超精密なラッピングと研磨品質で、正確な表面平坦度と横精度を維持するように設計されています。Auriga ECは、圧電駆動システムを使用して、プロセス時間を短縮し、歩留まりを改善し、表面平坦度を向上させる可能性を提供する高度な工作機械です。SPEEDFAM Auriga ECの主なコンポーネントは、研削、ラッピング、研磨半導体ウェーハを収容する上部ヘッドアセンブリ、大型研削/平面テーブル、ウェーハを同時に研削および平面する下部回転テーブルです。Auriga ECには、ユーザーのプロセスとアプリケーション要件に合わせたさまざまなヘッドとツールが装備されています。これらには、ダイヤモンド惑星ラッピングヘッド、ウェーハグラインダー、リニアラッピングマシン、惑星平面ポリッシングヘッド、シングルウェーハポリッシャーが含まれます。SPEEDFAM Auriga ECは、精密な半導体の平坦性、表面粗さ、および横方向の精度を実現するように設計されています。Auriga ECは、特許取得済みのCCDレーザーライン曲率測定ユニットを搭載しており、表面平坦度を高精度に測定できます。さらに、高出力の発振モーターにより、SPEEDFAM Auriga ECは0。4nm以内の平坦度を達成できます。Auriga ECはまた、処理中に最適な空気品質をきれいにして維持し、化学汚染物質を完全に除去する内部空気ろ過機を備えています。SPEEDFAM Auriga ECには、ウェーハを機械内に正確かつ正確に配置する自動ウェーハチャッキングツールも内蔵しています。さらに、Auriga ECには広範なデータロギング機能があり、ユーザーはウェーハの研削、ラッピング、研磨中に生成されたデータを保存、分析、レビューすることができます。最後に、SPEEDFAM Auriga ECは、半導体ウェーハ研削と研磨のための費用対効果の高い効率的なソリューションです。高度な機能と機能を備えた高度にカスタマイズ可能でユーザーフレンドリーな資産です。Auriga ECは、半導体ウェーハの製造に不可欠な正確な平坦性、表面均一性、および横精度を保証します。