中古 SPEEDFAM Auriga C #9222188 を販売中

SPEEDFAM Auriga Cは、これまでにない品質とスピードで片面および両面シリコンウェハを仕上げるように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。Auriga Cは独自のCNC駆動研磨ヘッドを備えており、タイトな加工領域でも最適な切削経路をスムーズに見つけます。ヘッドは、ウェーハの結晶損傷を最小限に抑え、CNCの高い加速度と同時ドリル、ラッピング、研磨機能を最大限に活用します。ウエハエッジ研削にも対応しており、従来の10 μ mの研削限界よりもエッジが薄いウエハーの製造が可能です。SPEEDFAM Auriga Cの高精度カセットフィードメカニズムは、最大20個のカセットに対応し、多数のウエハを無停止で処理できます。その高性能モーターとヘビーデューティギアボックスは、強力でデジタル制御された研削およびラッピングスピンドルおよび効率的なスピンドル傾斜機構と組み合わせて、優れた加工速度を保証します。CNCはまた完全に自動化されたダイヤモンドの車輪のドレッシングを提供し、完全で、均一な平坦の生産を最大にします。Auriga Cの他の機能には、高解像度カラーCCDビジョンカメラを備えた高度な光学ユニットがあり、正確な位置決めとクローズドトレランスのラッピングと研磨が可能です。グリットディスペンシングマシンは、研磨プラテンへの作業材料の正確かつ効率的な配信を可能にします、自動負荷表示は、ウェーハの進行を正確に追跡するために提供しています。また、統合された安全ガードは、周囲の物体を汚染から保護しながら、オペレータを安全に保ちます。SPEEDFAM Auriga Cは、大量生産プロセスにおいて極めて精度が高く、最高速度を実現するよう設計されています。精度とスピードを兼ね備えているため、半導体製造工場でのウェーハ加工に最適です。堅牢な構造、高度な安全システム、および実績のある信頼性により、ウェーハ処理アプリケーションに最適です。