中古 SPEEDFAM Auriga C #9139520 を販売中

ID: 9139520
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1999
Atlas CMP polisher, 8” 1999 vintage.
SPEEDFAM Auriga Cは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計された革新的な装置です。この研磨・研磨装置は、様々な基板の加工・加工において、高精度かつ再現性を提供します。Auriga Cは、最大0。3mmの厚さで8〜150mmのサイズのウェーハをラッピングし、研磨することができます。SPEEDFAM Auriga Cは、パフォーマンスとプロセス能力の範囲を提供する高度なコントローラとソフトウェアパッケージを備えています。システムの研削および研磨操作は、優れた結果を得るために正確に調整することができます。自動化されたオペレーターコンソールとマテリアルハンドリングシステムは、究極の柔軟性を提供し、ワークフローを簡素化し、人件費を削減します。Auriga Cは、ウェーハ研削と研磨における精度と再現性を最大限に発揮するように設計されています。このユニットには、3軸CNCポジショニングテーブルや自動ウェーハインデクサなどの堅牢で精密なコンポーネントが装備されています。これにより、機械は一貫して高精度で再現性のある結果を生み出すことができます。SPEEDFAM Auriga Cも使いやすいように設計されています。直感的なユーザーインターフェイスと自動マテリアルハンドリングツールにより、セットアップ、操作、監視が簡単になります。その高度な安全機能には、インターロック、ムーブメントセンサー、化学プロセス制御などがあります。アセットは自動的にプロセスパラメータを監視し、設定されたパラメータからの逸脱の場合にアラームを提供します。最後に、Auriga Cは一貫した結果を提供するように設計されている良質の粉砕および磨く消耗品が装備されています。消耗品は、汚染と酸化のリスクを最小限に抑えながら、優れた実用的な性能を提供します。SPEEDFAM Auriga Cは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨ニーズに最適です。最先端の技術、精度、再現性、信頼性により、高品質の基板の製造に最適です。
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