中古 SPEEDFAM Auriga C #141544 を販売中
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ID: 141544
Fully integrated post-CMP cleaner for dry-in, dry-out processing
Double side PVA cleaning through 2-brush boxes using common chemistries
Cleaner water tracks and non-contact rinse ring for minimal surface contact
SECS-II and GEM compliant.
SPEEDFAM Auriga Cは、基板やその他の製品の製造に最適な汎用性の高いプラットフォームであるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。Auriga Cは優れた表面仕上げ品質と高いスループットを提供します。その先進的な設計により、薄化、裏面研削、表面研削、ラッピング、研磨など、半導体製造業界のさまざまな用途に使用できます。SPEEDFAM Auriga Cには、最大15,000rpmの速度に達することができる高速スピンドルが装備されており、400〜8,000rpmの調整可能な範囲です。このスピンドルはFAG E学習技術を利用しており、多くのウェーハ研削サイクルで正確かつ再現可能な結果を提供します。また、磁力駆動システムを採用しており、柔らかい材料と硬い材料の両方に優れた研削能力を提供します。この駆動ユニットは、材料の硬度に関係なく、研削工程の精度を維持することができます。この機械のモジュラー設計により、完全にカスタマイズでき、サイクル時間の短縮と生産性の継続を可能にします。これには、鋼材からダイヤモンド研磨材まで、幅広い研削媒体が含まれます。スピンオンフィルターの追加オプションにより、使用される流体の純度が保証されます。Auriga Cは、汚染を低減するための集塵装置と防塵装置も備えています。集塵ツールはメンテナンスが容易で、掃除機フレームを使いやすい集塵フィルターを内蔵しています。このモデルには強力なプログラマブルロジックコントローラ(PLC)も含まれており、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスのすべての側面を自動的に制御します。これにより、カスタム設定を特定のアプリケーション向けに設計し、再現性と正確性を確保できます。SPEEDFAM Auriga Cは、高精度の試験装置、自動化されたシステム、および基板および部品の一貫した高品質の結果を保証するために設計されたソフトウェアを組み合わせています。Auriga Cは、生産精度、柔軟性、および高性能機能を提供する、幅広い製造要件に最適な機器です。
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