中古 SPEEDFAM 9B #9388411 を販売中

SPEEDFAM 9Bは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計された多目的機器です。特に大型ウェハ加工に適した複数の研削、ラッピング、研磨プロセスを効率的に実行することができます。ステーショナリープレート、レールシステム、回転テーブルを内蔵したSPEEDFAM 9Bは、マニュアルチャックを搭載し、最適な集塵性を実現しています。それに真空によって密封されるステンレス鋼の上の版が付いている二クロメートの上塗を施してある鋼鉄テーブルが付いている直接機械維持を可能にする開いたフレーム構成があります。また、最大2500 RPMまでの調整可能な速度を提供する三相ACモーターと駆動ユニットによって駆動されます。9Bには、クローズドループのサーボ制御リニアモータも装備されており、5nmの速度分解能と2nmの分解能、および制御可能なプロセス時間を提供し、精密な研削および研磨作業を保証します。また、研削圧力を制御するリニアロータリーアクチュエータを装備し、研削工程中にプラットフォームに高い安定性を与えます。9Bには、調整可能で、完全な集塵のために真空密封されることができるブラシレスモーターを備えた真空機など、いくつかの追加機能があります。また、処理中にきれいな作業環境を確保するための集塵ロボットや、事故防止のための警告・連動システムを備えた安全ツールを搭載しています。半導体製造業界やレンズなどの光学部品の加工に最適なツールです。SPEEDFAM 9Bは、調整可能な速度、高度な集塵、精密な制御により、最高品質の研削、ラッピング、研磨作業を実現します。