中古 SPEEDFAM 9B #9274778 を販売中
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SPEEDFAM 9Bは最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。シリコンウェーハの量産用に設計されています。このシステムは、優れた仕上げを提供しながら、より大きなスループットを実現し、ウェーハあたりのコストを削減します。ユニットのラッピングコンポーネントは、同時に、マルチステーション、6点のコンタクトラップリングを利用します。これは、新しい回転クラムシェルと組み合わせて、同時にウェーハの両側に圧力をかけることができます。これにより、ウェーハごとに一定の高さと滑らかな表面仕上げが保証されます。機械の粉砕部品は2段階のプロセスです。第1段は高速スピンドルマウント式の研削ホイールを採用しており、ウェハ表面の邪魔を最小限に抑える設計となっています。これにより、ウェーハの形状を維持しながらほぼ完璧な仕上がりを実現します。第2段階は、ベルトとディスクのセットアップを使用してウェーハ上で最高品質の仕上がりを作り出すワンパスラップと研磨ステップです。SPEEDFAM 9 Bはまた、オペレータの安全性を確保するために、いくつかの高度な安全機能を備えています。予期しないエラーやインシデントが発生した場合にツールを停止する自動緊急停止機能を備えています。また、粉塵粒子や発煙粒子からモデルへの侵入を防ぐための吸引アセットも備えています。9Bの統合された自動化された装置はそれを大量のウエハの生産にとって理想的にします。その高度な機能と最先端の技術により、各ウェーハの優れた仕上がりと均一性が保証されます。さらに、メンテナンスと操作が容易になり、効率とコスト削減が可能になります。
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