中古 SPEEDFAM 9B #293656101 を販売中

SPEEDFAM 9Bは、半導体、MEMS、オプトエレクトロニクス、研究および防衛産業における使いやすさ、高いスループット、およびプロセス再現性の向上を目的に設計されたウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。低振動、非接触の研磨加工方法は、優れた表面仕上げを提供し、手動研磨よりもはるかに優れた仕上がりを実現します。研削とラッピングプロセスは、研削とラッピングホイールの動き、スピンドルの動きを調整するSPEEDFAM 9 Bソフトウェアによって開始され、また、研削とラッピング中の材料の浸透の深さを定義します。研削とラッピングヘッドは、所望の輪郭に従うようにプログラムされており、ウェハの表面積全体に均等な圧力を与えます。9Bシステムには汎用性の高い工具交換ユニットが装備されており、さまざまなウエハサイズとプロセスパラメータの工具交換とセットアップを迅速に行えます。高精度のラッピングテーブルは、ウェーハの位置を登録し、適切なホイールセンタリングを保証することにより、精度を高めます。9Bのマイクロプロセッサ制御自動制御により、スピンドル速度とプラテン面の加速度が一定に保たれ、精密なエンドポイント監視が可能です。このプロセスで収集されたデータは、研削圧力を制御し、各研削およびラップ操作の後に機械に信号を送信し、自動対話的フィードバック、中期および予定校正、およびプラテン面の再登録を提供するために使用されます。SPEEDFAM 9Bは、高度な水溶性の研磨材を使用して、材料のランオフを排除し、完成した表面の均一性を最大化します。このツールは、粒子の蓄積と逃亡塵による環境リスクを排除しながら、幅広い仕上げオプションを提供します。このアセットは、複数レベルの保護やユーザーフレンドリーなタッチパネルインターフェイスなど、安全性と使いやすい機能を備えています。また、既存のハードウェアおよびソフトウェアプラットフォームと互換性があり、簡単な操作と本番環境への迅速な統合を保証します。SPEEDFAM 9 Bは、安全で信頼性の高い精密で均一な表面仕上げを実現するための強力で効率的なウェーハ研削およびラッピングソリューションです。多くの自動化された機能を備えたこのモデルは、時間を節約し、コストを削減し、幅広い生産アプリケーションの歩留まりを向上させるように設計されています。