中古 SPEEDFAM 9B-5SSG-IV #9103362 を販売中

SPEEDFAM 9B-5SSG-IVは、ウエハ研削、ラッピング、研磨装置を完備しており、超滑らかで片面、両面研磨されたウエハの信頼性と費用対効果の高い生産を提供します。このシステムは、単相、調整可能な速度、三相、ACモータ駆動ユニットを備えており、最適な結果を得るために速度と粉砕圧力を調整することができます。9インチ（228mm）の研削/ラッピングホイール、高精度ダイヤモンドラッピング/研磨パッド、精密エアーベアリングスピンドルを備えています。このツールは、片面接地と多角形の前面で最大8インチ（203mm）のウェーハを研磨することができます。9B-5SSG-IVは、複数のセンシングおよび監視機能を備えた高度な制御資産を利用しています。このモデルは、圧力、温度、圧力対時間、およびさまざまなアクセサリ設定の制御を含むプロセス条件を監視および制御する機能を提供します。この装置はまた、ラッピングパッドの状態を監視し、パッドに残っている研磨剤の量を測定することができます。これにより、一貫した信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。このユニットは、切断、研削、ラッピング、研磨など、さまざまな加工技術に対応するように設計されています。このシステムは、電気めっきダイヤモンド研削ホイールを使用して、正確で制御された研削と研磨を実現します。また、ウェーハの表面粗さを測定する機能も備えており、最高の仕上がりを保証します。さらに、このユニットは、複数の異なる研削盤と多種多様なラッピングプレートで使用するために変更することができます。この機械は、ダイヤモンドや酸化セリウムなどの研磨剤を使用してラッピングすることもできます。このツールに加えて、SPEEDFAMは、特定の顧客の要件を満たすためにSPEEDFAM 9B-5SSG-IVをさらにカスタマイズするためのアクセサリの範囲を提供します。これには、研削および研磨消耗品、ラッピング液、パッド、研磨および廃棄容器、研削ディスク、ライナー、ホルダーなどの幅広いプロセス消耗品が含まれます。この資産はまた、既存の生産ラインと統合し、さまざまなプロセス要件と業界仕様に対応するように設計されています。全体として、9B-5SSG-IVは、高精度で一貫した高品質の仕上げで、超滑らかな片面および両面研磨ウエハを効率的かつ効果的に提供するように設計された信頼性の高い堅牢なモデルです。この装置は、さまざまなプロセスや材料を処理することができ、複数の監視機能を備えており、顧客固有の要件を満たすようにカスタマイズすることができます。このシステムは、量産および高精度のアプリケーションに最適です。