中古 SPEEDFAM 9B-5P #9352976 を販売中

SPEEDFAM 9B-5Pは、シリコン、SiGe、 III-V、単層または多層膜などの様々な基板を従来の方法では実現できなかった平坦性、平行性、表面仕上げ仕様に仕上げることができるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、2枚のプレートとウェーハ試料を保持するためのトッププレートからなるキャリアプラテンに基づいて構築されています。3つのレギュレータバルブに供給される圧縮空気は、ウェーハ試料の送り速度とドレッシング速度を制御します。ダイヤモンドホイールを使用してウェーハ試料を研削し、クロスフィード機構により研削に必要な圧力を供給します。加工するウエハ基板に応じて、研削、ラッピング、研磨パラメータを選択するスタイラス型セレクター機構を採用しています。定圧ラッピングマシンと水冷研磨ツールを搭載し、ウェーハ表面の一貫した仕上がりを実現しています。また、位置検出型のトラバースメカニズムにより、ワークの補正や調整が可能です。9B-5Pはまた絶えず粉砕および磨くプロセスを監視できる閉鎖ループ光学フィードバックモデルが装備されています。これにより、ウェーハ試料の各バッチで再現可能な結果と一貫した仕上がりが保証されます。SPEEDFAM 9B-5Pは、高水準の平坦性と表面仕上げを実現する必要があり、フルスケールの研磨装置に投資するリソースを持っていない可能性がある半導体および光学デバイスの製造に適しています。