中古 SPEEDFAM 9B-5P-IV #293745736 を販売中

SPEEDFAM 9B-5P-IVは半導体産業で使用するために設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。半導体ウェーハの表面の洗浄、成形、仕上げに使用できます。このシステムには2つまたは3つの研削ユニットが装備されており、それぞれにダイヤモンドホイールが装備されています。ラッピングと研磨は、ダイヤモンドまたは炭化ケイ素の研磨面を有する2つまたは3つの研磨プレートで達成されます。9B-5P-IVは、高速、高トルクモータを備えた大型ウエハにも対応可能で、クローズドループ制御を採用し、反復可能な結果を実現しています。また、さまざまな用途で最大9つの表面プロファイルを保存できるインテリジェントな表面プロファイル・ライブラリや、特定の研削、ラッピング、研磨プロセスのレシピ機能などの高度なソフトウェア機能も備えています。ユニットのコントロールはユーザーフレンドリーで、直感的なアイコンベースのディスプレイを備えており、簡単にナビゲーションできます。機械はまた使い捨て可能なパッドの認識のためのRFIDの読者を含み、正しいパッドかウエファーが必要な操作のために常に使用されることを保障します。SPEEDFAM 9B-5P-IVには、最大121の作業プログラムを選択するためのデジタル表示とキーパッドも装備されています。このツールは、精密かつ高速な研削、半導体ウェーハのラッピング、研磨に最適です。また、ダウンタイムを最小限に抑え、インストールとメンテナンスを容易にするように設計されており、静かです。信頼できる性能のために、それは良質の仕上げおよび精密技量を要求する操作のための理想的な解決です。