中古 SPEEDFAM 9B-5P-5 #293633720 を販売中

SPEEDFAM 9B-5P-5ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、比類のない精度、再現性、およびスループットを提供するように設計された高度で高精度なウェーハ加工ソリューションです。研削、ラッピング、研磨ヘッドおよびメディアの幅広い選択肢を提供するこの費用対効果の高いシステムは、シリコンおよびその他の材料の複数のサイズを迅速かつ正確に処理することにより、生産コストを削減することができます。9B-5P-5ユニットの主なコンポーネントは、低振動、ダイレクトドライブウェーハアライメント、ツールレス切替を特徴とする3つの固定機械ステージです。各ステージは、精密スピンドル、多軸運動機、プログラマブルスペーシングホイール、ヘビーデューティアルミニウムフレームで構成され、ウェーハ研削および研磨作業に正確な粒度と精度を提供します。このツールには、高性能で負荷に依存しない高精度の位置決め用リニアサーボステージと、ハイアスペクト比の特徴を高速に切断できるハイダイナミック、デュアルアクションラジアルステージが装備されています。このアセットには、高度な高トルク主軸が搭載されており、最大160,000 rpm（毎分回転）に達することができ、スムーズで一貫した結果と材料損失を最小限に抑えます。SPEEDFAM 9B-5P-5は、最大4,500rpmの速度を生成することができ、最も要求の厳しいウェーハ研削アプリケーションでさえも処理するのに十分な高速性を実現します。高精度の研削ハンドルとフィートを内蔵しているため、損傷や変形がなく、最も過酷な材料でも効率的に研削、ラップ、研磨することができます。最後に、9B-5P-5はプログラムが簡単で、最小限のオペレータインターフェイスが必要です。それはさまざまなソフトウェアプログラムと互換性があり、プロセスまたは材料の必要性が進化するにつれて容易にアップグレード可能です。また、オートチューニングの校正装置により、設定を素早く調整して微調整することが容易になり、ウェーハ研削全体のコストをさらに削減し、優れた結果を得ることができます。