中古 SPEEDFAM 9B-5L #9276628 を販売中

SPEEDFAM 9B-5Lは、高度な自動ウェハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、比類のない再現性を備えた非常に正確なウェーハサーフェスを生成するように設計されています。SPEEDFAM 9B5Lは、高度なシリコン集積回路やMEMSデバイスで使用される精密ウェハの製造に特に適しています。9 B-5 Lは粉砕および磨く操作のために12軸のロボット粉砕ガントリーを利用します。生産サイクルに応じて、オペレータは、ダイヤモンド含浸最大320mm、ポリイミド結合最大220mmなど、さまざまな粉砕ホイールから選択できます。Robotic Grinding Gantryは、微細な地形を除去することから、より大きな複雑な凹凸やプロファイリングまで、さまざまな研削および研磨作業を行うことができます。9B5Lには5軸ラッピング/ポリッシングステーションも備えています。このステーションは、超精密ウェハの製造に不可欠な、より高い精度基準にウェハを磨く能力を提供します。ラッピング/研磨動作は、リニアエンコーダを備えたモータ駆動のクロスメンバーによって提供され、複数の100分の1ミクロンにわたる再現性を持つ0。01ミクロンの動作分解能を実現します。9B-5Lは25。4-203 mmの間でウェーハを受け入れ、テープ、テープレス、および注文のキャリアを受け入れてもいいです。ユニット全体はかなり堅牢に設計されており、ロボットガントリーは25kg以上の持ち上げが可能です。SPEEDFAM 9 B-5 Lは柔軟なレシピ管理も提供しており、ユーザーは操作中に速度、圧力、向きなどのパラメータを簡単に調整できます。全体として、9 B 5 Lは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業を自動化するための非常に強力なマシンです。幅広い研削砥石と精密なラッピング/研磨により、高度なウエハーの超精密な結果を得ることができます。アセットの堅牢性と柔軟なレシピ管理により、あらゆる生産作業に最適です。