中古 SPEEDFAM 9B-5L #9224633 を販売中

SPEEDFAM 9B-5Lウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、完全に自動化されたCNC制御研削、ラッピング、研磨システムです。半導体ウェーハの高精度・低汚染表面仕上げを実現するよう設計されています。直径2〜8インチのさまざまなサイズのウェーハに対応可能で、高速スピンドルと多軸サーボコントロールを備え、正確な位置決めと制御動作を実現しています。この機械は、主軸を取り付けたベースユニットで構成されています。スピンドルは調整可能であり、処理される正確なウェーハサイズに応じてスピンドルの拡大と延長を可能にします。スピンドルは非常に高速で回転し、1本のパスで1 μ mの精度の表面仕上げを実現し、さまざまなウェーハの厚さに合わせて調整することができます。スピンドルの反対側に位置する高速研削ホイールにより研削が可能となり、ウェーハ表面全体を一度に加工することができます。研削砥石は、必要な正確な表面粗さを得るために調整可能です。ウェーハ表面のラッピングと研磨は、多数の研磨ディスクを含むフローティングヘッドによって達成されます。これにより、ウェーハの表面全体が同時に処理され、ウェーハが完全に平坦であることが保証されます。研磨ディスクは、高光沢、マット、研磨仕上げなど、さまざまな表面特性に合わせて変更できます。SPEEDFAM 9B5Lは、さまざまな種類のウェーハ間を識別することができ、処理されるウェーハの種類に固有のツールを設定することができます。また、ウェーハ表面の小さな変化を検出するのに役立ち、モデルの状態を監視するために使用することもできます。装置はユーザーに完全な制御を提供している間速く、正確な処理のために設計されています。また、作業環境から空気中の粒子や破片を取り除き、ウェーハ上に余分な材料を取り除くことができます。これにより、ウェーハリジェクトを削減し、歩留まりを向上させ、最終的にはユーザーに高いリターンを提供します。システムのユーザーインターフェイスは非常にユーザーフレンドリーです。これは直感的なユニット表示を提供し、ユーザーはマシンの設定、材料の選択、および実行時間情報への迅速なアクセスを可能にします。このツールは、さまざまなモードを実行するようにプログラムすることができ、資産に柔軟性と信頼性を追加します。全体として、9 B-5 Lウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルは、さまざまなタイプの半導体ウェーハの研削、ラッピング、研磨に信頼性の高い効率的な機器を提供します。高い精度とプロセス全体を正確に制御することで、高品質で一貫した最終結果を必要とする人々にとって理想的な選択肢です。