中古 SPEEDFAM 9B-5L #9222186 を販売中
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SPEEDFAM 9B-5Lは、高精度マイクロエレクトロニクス部品の製造に使用するために設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、マイクロエレクトロニクスで使用される石英、シリコン、その他の半導体材料などの様々な材料を研削、ラッピング、研磨するためのワンステップ自動プロセスです。ベースユニットと自動研磨機、C軸エキセントリック研削ヘッド、機械研削アーム、ラッピングマシン、液体研磨ステーションなどの周辺部品で構成されています。ベースユニットは、生産エリアの周りの動きを容易にするためのローラー付きヘビーデューティスチールで構成されています。また、メインコントロールパネルとプログラムで定義された操作とレシピを備えた10インチのタッチスクリーンも含まれています。すべての付属品は完全な移植性のために立場に取付けられます。自動研磨機は、ダイヤモンド研磨粒子、セラミックラップ、および/または樹脂結合研磨ホイールを使用して、研削、ラッピング、研磨プロセスを完了します。C軸エキセントリック研削ヘッドは、加工されているウエハや部品への完全なアクセスを可能にし、滑らかな仕上げと高精度制御を提供します。機械式研削アームは、調節可能な速度メカニズムと調整可能な位置を備えており、材料に深く浸透し、より正確に成形することができます。ラッピングマシンは、研磨面で材料の表面を研磨することによって動作します。これは、可変圧力と速度、および均一な仕上げ加工を支援する真空式の液体スラリーを使用して達成されます。液体研磨ステーションは、石英材料を研磨するためにプログラムされた非反応性液体粒子を分散させることにより、石英の最終的な研磨を提供します。これにより、標準化された高精度な仕上がりが保証されます。SPEEDFAM 9B5Lは、マイクロエレクトロニクス部品の迅速かつ高精度な仕上げを可能にする、強力で自動化された機械です。これは、最高品質、反復可能な製品を必要とする生産プロセスのための理想的な選択肢です。その高度なプログラミング機能、効率的な研磨加工、および調整可能な速度、位置、圧力は、あらゆる用途において信頼性が高く一貫した結果を提供します。
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