中古 SPEEDFAM 9B-5L #9143836 を販売中
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ID: 9143836
ヴィンテージ: 1999
Lapper / Polisher
(2) Variable frequency drives
(3) Motors:
Main drive
Sun gear (Reversible on control panel)
Vertical sun and ring gear elevation adjust
320 Grit SiC
Main plate 10HP VFD with no lapping hours
Sun gear motor & VFD: 3HP
Stainless cover
Electrical panel devices with VFD (Variable frequency drive)
Common to lap & polish:
Substrate material
Cylinder pressure
Flatness of plates
Plate material
Conditioning of plates
Carrier thickness
Carrier material type
Target surface finish
Lap:
Grit material
Grit shape
Grit size
Grit size tolerance (Vendor dependent)
Grit carrier solution, mixing or grit suspension
Grit pump rate
Polish:
Substrate flatness prior to polish
Slurry material
Slurry pump rate
Pad material
Pad type
Processing materials:
Aluminum nitride (AlN)
Beryllium oxide (BeO)
Coorstek superstrate (Al2O3)
Does not include:
Slurry delivery system
1999 vintage.
SPEEDFAM 9B-5Lは、高いスループットと均一性を必要とするアプリケーション向けに設計された、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高度なデュアルステージ研削システムにより、SPEEDFAM 9B5Lは直径6インチまでの基板の高速で一貫した同時研削を提供します。オンボード研磨ユニットは、従来の多段研磨機よりも優れた均一な研磨結果を提供します。研磨ベルト研削プロセスを駆動するユニークな振動機は、研磨力、速度、および機械の円滑な動作を究極の制御を提供します。9 B-5 Lは、デッドゾーンフリードライブローラーの設計、軽量で耐食性のあるツーリングベース、およびアプリケーション剛性のための革新的な二軸サポート構造を備えています。デュアルステージセットアップは、複雑なワークの輪郭であっても、シングルパス操作で高速かつ均一な研削とラッピングの結果を提供します。さらに、切替不要の構成により、運転中に研磨ベルトを交換する必要がなくなり、スループットとジョブの一貫性が向上します。クリーンで効率的な操作のために、SPEEDFAM 9 B-5 Lには、リアルタイムフィードバックと自動化されたプロセス制御を備えたフルプロセス監視ツールが含まれています。このマシンの直感的なグラフィカルヒューマンマシンインタフェース(HMI)は、研削、ラッピング、研磨結果を単一の画面内で制御するために重要なプロセスパラメータを配置し、簡単にアクセスできます。ユーザーフレンドリーなメニューのナビゲーションにより、処理とプロセスの最適化のためのパラメータをすばやく設定できます。アセット独自のエアスクラバー浄化モデルは、粉塵粒子やその他の破片を減らすためにきれいな空気の流れを作成し、生産環境でクリーンで安全な動作を保証します。ノイズレベルは、低騒音運転のために機械に内蔵された音響断熱材で80%以上低減されています。9B5Lは、優れた性能と組み合わせた先端技術を提供し、産業用途向けの高品質のウェーハ研削、ラッピング、研磨ソリューションを可能にします。それは高精度の適用のための太陽電池パネルのような両面適用そして片面適用に、使用することができます。その可搬性、柔軟性、自動プロセス制御およびその他の先進的な機能により、フォトニクス、半導体、医療機器業界のさまざまなウェーハ研削、ラッピングおよび研磨アプリケーションに最適です。
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