中古 SPEEDFAM 9B-5L #293641135 を販売中

SPEEDFAM 9B-5Lは、半導体製造、光学製造に広く使用されているウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、シリコン、サファイア基板、金属など、さまざまな材料に優れた高精度の平面を作成するように設計されています。回転研削機構、固定研削機構、ラッピング研磨機構を内蔵した3ステーション構成。ロータリー研削ステージは、主軸に取り付けられたダイヤモンド研削ホイールを使用しており、研削圧力と速度を正確に制御できます。ステーショナリー研削ステージは、独自のエアーベアリングマシンを採用し、幅広い力で摩擦のない運転を可能にし、高精度な加工を実現しています。SPEEDFAM 9B5Lには、制御された液圧分布ツールの下でダイヤモンドまたはアルミナ研磨材を使用する完全自動ラッピングおよび研磨ステージがあります。これにより、表面のラッピングと研磨の均一性と深さを正確に制御できます。また、大型窒素スクラバーやエキゾーストフィルターを使用して空気中の粒子やガスを除去し、清潔で汚染のない作業条件を確保する厳格なガス浄化モデルを備えています。9 B-5 L装置はまた粉砕および磨く段階を含むすべての動きを、システム内の調整する洗練された動き制御パッケージを含んでいます。このモーションコントロールパッケージは、産業用PCベースのCNCコントローラ、エンコーダベースのクローズドループ制御ユニット、および高度なサーボモータ駆動機で構成されています。全体として、9B5Lツールは、さまざまな材料で優れた平面を作成するように設計された高度で自動化された資産です。精密な制御を可能にする洗練されたモーションコントロールパッケージと、摩擦のない操作のための堅牢なエアベアリング装置を備えています。また、ユニファイドエキゾーストユニットと窒素スクラバーを備えており、清潔で汚染のない作業条件を保証します。