中古 SPEEDFAM 9B-5L #293586267 を販売中

SPEEDFAM 9B-5Lは、半導体産業の要件を満たすように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは、高速かつ極めて精度の高いウェーハを研削、ラッピング、研磨することができます。このユニットには、ウェーハの急速な方向変更と正確な位置決めのための9軸モーションコントロールと、ラッピングと研磨プロセスを正確に制御するための統合されたCNC制御が含まれています。SPEEDFAM 9B5Lは、さまざまな加工技術を可能にするラッピングと研磨プラテンのアタッチメントユニットの精密設計範囲を備えています。制御機械はプラテンの圧力、速度および角度のような望ましい処理変数を置くことの完全な柔軟性をユーザーに与えます。9 B-5 Lはウェーハ処理の適用の広い範囲のために適しています。このツールは、最大200mm/8サイズのシングルサイドウエハとマルチサイドウエハの両方を研削することができます。プラテンアタッチメントユニットは、必要な表面仕上げのタイプのために異なる研磨ヘッドを利用して、ラッピングと研磨の両方に使用することができます。このアセットは、圧力、速度、角度をカスタマイズできるため、不規則な形状のウェーハやガラスセラミック複合ウェーハの加工に特に適しています。9 B 5 Lはオペレータの安全を保障する高度の保護特徴が装備されています。このモデルには、危険が検出された場合に偶発的な操作や機器へのアクセスを防止するインターロックが装備されています。また、レーザースキャナーを搭載し、ユニットに近い異物の動きを識別して停止し、機械やウェーハの損傷を防ぎます。さらに、機械は熱安全デバイスのおかげで過剰な温度から保護され、潜在的な汚染を最小限に抑えるために保護エンクロージャが付属しています。SPEEDFAM 9 B 5 Lは、半導体ウェーハのバッチ処理とインライン処理の両方に使用できる汎用性と高性能なツールです。高度なモーションコントロール、包括的なラッピングおよび研磨ユニット、高度な安全機能を備えたこのアセットは、あらゆる半導体ウェーハ研削、ラッピング、研磨アプリケーションに最適です。