中古 SPEEDFAM 9B-5L-T #9398252 を販売中
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ID: 9398252
Double sided lapping machine
Diameter lapping plates, 25"
4-Way drive motion:
Upper plate
Lower plate
Carrier sun driver gear
Carrier ring
Driver gear all in rotation
Maximum clearance upper and lower plates, 18"
Thickness of abrasive machining plates, 1.2"
Motor-driven carrier sun gear reversing system
Automatic thickness control
Pressure system III
Variable speed control with slow start and stop system
Precision lifting / Pressure control air cylinder with proximity sensor
Geared carriers for durability
Nickel plate ring and sun gears
Steel upper plate drive
Stainless steel exposed hardware and table edging
Epoxy-coated drain system
Aluminum slurry ring
Inching
Hour meter with reset option
Digital readout timers
Automatic slurry distribution
Analog tachometer
2-Hand safety control
Paint: SPEEDFAM White
Lower abrasive machining plate speed: 6-60 RPM
Upper abrasive machining plate speed: 2-20 RPM
Workpiece carrier speed: 3-21 RPM
(5) Workpiece carriers
Carries diameter: 7-¾"
Main drive motor: 3 HP
Sun gear carrier driver motor: ½ HP
Control circuit power supply: 110 V
Power supply: 230 V, 3 Phase, 60 Hz.
SPEEDFAM 9B-5L-Tは、半導体、光学、パッケージ基板加工のニーズに合わせて設計された多機能研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、垂直スピンドル上の9インチのディスク研削ホイール、水平スピンドル上の5インチのラッピングホイール、および5インチの可変速度ターンテーブルで構成されています。これらの3つのコンポーネントは、断面研削、エンドビュー研削、バックラッピング、サイドラッピング、研磨など、さまざまな操作を実行することができます。9インチディスクグラインディングホイールは、ウェーハを3mm、厚さ10mmまで研削するように設計されています。5インチラッピングホイールは、0。4mmから1mmの厚さのウエハに対応でき、最大サイズは直径150mmまでです。ターンテーブルは静的な保持力のためにグリースによって油を差される空気のテーブルを使用し、優秀な粉砕および磨く結果を可能にします。9B-5L-Tは、スピンドル速度、テーブル速度、および送り速度を監視および調整するユーザーフレンドリーなプログラマブルコントローラによって制御されます。これにより、ユーザーはアプリケーションの所望の結果を達成するために必要なパラメータを正確に処理することができます。ユニットはキャビネットに囲まれており、粉塵や破片に対する保護を提供し、粉砕ホイールをチップやバリから解放するためにプロセス中に高圧クーラントが使用されます。使用される可変速度モーターとスピンドルは、精度と精度を確保するために20,000rpmの最高速度を生成することができます。機械は良質のステンレス鋼フレームおよびアルミ合金の部品と組み立てられ、ユーザーの安全のための粉砕の監視および反磁気の手袋を含んでいます。また、さまざまな入出力コネクタとLEDインジケータを備えた中央コントロールパネルを備えており、ツールを簡単に監視できます。SPEEDFAM 9B-5L-Tは、シリコン、セラミックス、金属などのさまざまなウエハや基板に対応するように設計されています。また、特定のアプリケーションニーズのためのオプションのアクセサリーでも利用できます。アセットは、優れた表面仕上げを実現するために、高速かつ効率的な研削、ラッピング、研磨のために設計されています。
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