中古 SPEEDFAM 9B-5L-S #9043712 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-Sは、多彩な自動精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ダイシング、バックグラインド、CMP、 150mmまでのウェーハの研磨などの用途向けに設計されています。サブミクロン精度を実現できる高精度ユニットです。マシンは、920mm x 600mmラッピングプレートと5つの600mm x 200mmラッピングマウントステーションで構成されています。各ラッピングステーションには、ラッピング面の動きを制御するサーボモーターとエンコーダが装備されており、ラッピング速度と動きの方向を正確に制御します。ラッピングパッドは、粒子の汚染を最小限に抑え、効率的な集塵を可能にするように配置されています。9B-5L-Sの研削ステーションには、最大20,000RPMの速度に達することができる高いトルク、低速モータが装備されています。SPEEDFAM 9B-5L-Sは乾式・湿式両方の研削が可能で、幅広い用途に適しています。ツールのラッピングステージには、マルチステッププログラマブルサイクルコントロールが装備されています。これにより、ユーザーはアプリケーションの要件に合わせてラッピングプロセスを構成できます。また、ラッピングプロセスが再現可能であり、将来の監査のために追跡可能であることも保証します。さらに、キャリブレーションサイクルを組み込むオプションがあり、ラッピングプレートの摩耗を自動的に補償します。9B-5L-Sの研磨段階には、ロードセル、サーボモータ、エンコーダが装備されており、プロセスを正確に制御できます。ユーザーが異なった条件のための圧力、回転速度および速度のランプを調節することを可能にするプログラム可能な変数があります。SPEEDFAM 9B-5L-Sは、優れた結果を出すことができる信頼性の高い堅牢な資産です。研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御し、ウェーハの均一な仕上がりを保証します。精密なウエハ加工を必要とする用途に適しており、高い品質管理が求められる製造現場での使用に最適です。