中古 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9224517 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-IVは、SPEEDFAM株式会社が製造するウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、幅広い表面特性を備えた完全に機能するウェーハを同時に処理するように設計されています。隔離された真空環境で5つのワークデッキを備えており、繰り返し可能で信頼性の高いルーチン研削、ラッピング、研磨作業を可能にします。9B-5L-IV単位のプロセスは基質材料の処理および生産の高い要求に応じるように設計されています。高精度の5軸加工機は、厳しい公差の部品を製造することができ、湿式および乾式加工能力を備えています。この機械は最低の欠陥と優秀な表面の終わりを提供できます。このツールは、ダイヤモンド研磨ホイールを使用し、特殊なダイヤモンドのスラリーと他の多くの研磨部品を使用して、厳密に公差のある部品を製造します。デュアルとシングルモードの2つのジオメトリを備えており、独自の研削、ラッピング、研磨機能を提供します。デュアルモーダルジオメトリは、大容量の部品のバッチ処理を容易にしますが、シングルモーダルはより詳細な処理ニーズに最適です。各ダイヤモンドホイールは、優れたステンレススチールバッキングプレートに取り付けられ、最適な繰り返し精度を得るために微調整されています。精密研削資産は、ウェーハ表面仕上げモニター、高速ローディングアーム、PLC駆動ローディングおよびアンローディングモデルの組み合わせを利用しています。SPEEDFAM 9B-5L-IV、さまざまなサイズのウェーハを処理し、マイナーバリエーションに柔軟性を提供します。ウエハサイズは継続的に監視され、プロセス関連の損傷を最小限に抑えます。さらに、9B-5L-IVは、プロセス時間の変動を低減するカスタムビルドの圧力監視および制御システムを備えています。また、精密な部品位置決めとアライメントのためのセンサーを備えた低速傾斜およびトリミングスピンドルモータも内蔵しています。ダイヤモンド研磨ホイールドレッサーは、必要に応じて簡単にダイヤモンドとダイヤモンドスラリーの交換を可能にします。SPEEDFAM 9B-5L-IVシステムは、堅牢なSiemens Automation Controllerによって駆動され、データ転送、制御、および監視をシームレスに容易にします。最後に、ユニットには、緊急遮断機能を含む、豊富な安全機能が装備されています。