中古 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9223964 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-IVは、半導体ウェーハなどの繊細な電子部品を加工するために設計された高精度、マルチツールウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ラッピング機能、研磨機能、研磨機能を組み合わせており、複数の基板を処理するためのヘッドを迅速に切り替えることができます。9B-5L-IVはサブミクロンレベルの精度が可能で、高精度な半導体製造に最適です。SPEEDFAM 9B-5L-IVシステムは、精密なX-Yステージ、ウェーハを研削するラッピングヘッド、クリーンな表面仕上げを実現する研磨ヘッドで構成されています。X-Yステージは、ウェーハを特定のプロファイルに移動させるか、プログラム可能な数学曲線に従うようにプログラムすることができます。ラッピングヘッドは、ダイヤモンドチップ研削ホイールを使用して、ウェーハ表面を正確に低減します。研磨ヘッドは、さまざまなサイズのダイヤモンド粒子を使用して、表面をきれいに仕上げます。最小径6mm、最小研削シャフト速度4,500RPMのウェハ研削が可能な9B-5L-IVです。ラッピングと研磨プロセスは、手動または自動モードのいずれかでマシンの動作を可能にするプログラム可能な自動制御機能で便利に適用することができます。SPEEDFAM 9B-5L-IVには、ラップ前に表面の洗浄またはバリ取りを可能にする2つの独立したウォータージェットが付属しています。この機能により、非常に小さなフィーチャーサイズでも最高品質の結果が得られます。9B-5L-IVはユーザーフレンドリーなタッチスクリーンディスプレイを備えており、手動オーバーライドを備えた強力な産業用コントロールユニットによってサポートされています。研削/研磨プロセスの手動偏心制御、研削/研磨ヘッドの張力制御も備えています。このツールの設計により、最も要求の厳しい環境でも、すべてのラッピングおよび研磨アプリケーションで信頼性の高い選択肢となります。このアセットには、標準的なフラットウェーハチャックやチェッカードプレートのウェーハホールディングデバイスなど、柔軟性を高めるための幅広いアクセサリーも付属しています。SPEEDFAM 9B-5L-IVは、マイクロコンポネントの正確で高精度な研削、ラッピング、研磨を必要とするすべてのアプリケーションに理想的な選択肢です。このモデルは、信頼性が高く、使いやすく、プログラマブルで、さまざまな環境で簡単にインストールできるようにコンパクトです。9B-5L-IVは、最高品質の結果を必要とする製造業務に費用対効果の高いソリューションを提供します。