中古 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9223160 を販売中
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SPEEDFAM 9B-5L-IVは、高品質の表面仕上げでウェーハを仕上げるように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高速研磨、ラッピング、制御研磨を組み合わせ、高精度かつ高精度なウェーハ表面を実現します。9B-5L-IVは、研削、ラッピング、研磨の3つのモードで動作することができます。研削は、プロセスの最初の段階であり、2つの回転研磨板の間のウェーハで行われます。このプロセスは、材料を除去し、表面粗さを滑らかにするために使用されます。研削時の表面粗さは通常5〜10ナノメートルです。ラッピングはプロセスの第2段階であり、ウェーハが表面を横切って制御された方法で移動する間、平面上で行われます。これはダイヤモンドラップと研磨ペーストで行われ、一般的に0。25ナノメートル未満の表面粗さを達成するために使用されます。磨くことはプロセスの第3段階であり、ウェーハに高い発光の終わりを与えるのに使用されています。SPEEDFAM 9B-5L-IVには、さまざまなウエハサイズに対応できるポリッシングホイールが装備されています。研磨プロセスは0。1ナノメートル未満の表面粗さを達成することができます。9B-5L-IVは、効率的で汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨システムであり、さまざまな業界の要件を満たす表面仕上げを備えた高精度、高品質のウェーハを製造することができます。ユニットは操作が簡単で、研削、ラッピング、研磨プロセス、および負荷の速度を調整することができ、最終結果のより良い制御を可能にします。コンパクトな設計と低消費電力で、ウエハ研削、ラッピング、研磨機をお探しの企業に最適です。
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