中古 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9208859 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-IVは、高精度のアプリケーション向けに設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。最新世代のウェーハ研削技術を搭載したproGran™研削室を備えています。これにより、不透明ウェーハおよび/または超薄型ウェーハを最も厳しい公差まで研削するための最適な性能が保証されます。ユニークなproGran™研削チャンバーは、優れた熱制御とダイナミックバランシングを誇り、最大135mmの大型ウエハの限られた研削が可能です。9B-5L-IVは、ブラシレスDCモーターとデジタル通信とネットワーキングのための高度な接続オプションによって駆動されます。このユニットは、+/-5 μ mの最大フラットネス仕様でサブミクロンの均一性を生成することができる、高出力、高性能の5段ラッピングプロセスによって駆動されます。機械はまた0。2-。3umのRZの優秀な表面の均等性を提供します。SPEEDFAM 9B-5L-IVは、独自のIntelliPol™研磨ツールによってバックアップされ、ユーザーに完全なPZTウェーハ研磨ソリューションを提供します。IntelliPol™アセットは、ウェーハ上の低応力で正確な研磨を提供するように設計されており、ユーザーに圧力分布、低圧、可変速度、研磨スラリーの再循環を調整する機能を提供します。ユーザーは、必要に応じて、洗浄、錆の除去、表面研削プロセスをモデルに統合することもできます。9B-5L-IVには、さまざまな高度なウェーハ処理設備があり、プロセス全体を通じてウェーハの安全で効率的な処理を保証します。この装置は、最新の技術を使用して、正確なウェーハの位置決めと安全な負荷を確保するために、自動化されたチャック回転プロセスで構成することができます。ユーザーは、ユニットのパフォーマンスを監視および制御するためのWebベースの監視システムにアクセスすることができます。これには、リアルタイムのPZT温度および圧力測定、時間使用データ、および機械性能指標が含まれます。全体として、SPEEDFAM 9B-5L-IVウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールは、最高レベルの精密ウェーハ加工を実現するための理想的なソリューションです。このアセットは、高度なウエハハンドリング、ラッピング、研磨機能、高度な監視およびレポート機能など、幅広い機能をユーザーに提供します。この機能の組み合わせにより、このモデルは半導体製造、航空宇宙、自動車工学、医療機器製造などの産業に適しています。