中古 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9208833 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-IV
ID: 9208833
ヴィンテージ: 1995
Single side wafer lapping system DPG Platen: 2.2 kW Direct lead 1995 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L-IVは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための自動化された装置です。この機械は、デバイス製造のための半導体ウェーハの精密加工に使用するために特別に設計されています。9B-5L-IVはオープンアーキテクチャのモジュラーシステムで、製造の汎用性を促進し、コストを削減します。5軸CNCオートメーションユニットにより、ウエハ形状や完成品の形状を正確に制御します。このマシンは、ロボットアームとクイックチェンジツールを使用して、オペレータの疲労を軽減し、セットアップ時間を最小限に抑えます。SPEEDFAM 9B-5L-IVは、3つの主要なウェーハ処理プロセスを1つのコンパクトな資産に統合します。最初の工程は、ダイヤモンド研削ホイールを使用してウェーハの厚さを減らすことを含む研削です。2番目のプロセスは、研磨材と研磨材の組み合わせを使用して、非常に高精度な平坦性、丸み、平行性、表面仕上げを得るラッピングです。3つ目は、硬くて柔らかい研磨剤と研磨剤を使用して、優れた光学特性を実現する研磨です。3つのプロセスはすべてクローズドモデルで実行され、ウェーハの汚染を排除し、繰り返し可能で一貫した結果を保証します。装置は、優れた表面仕上げを得るために精密な温度制御と精密な圧力制御を採用しています。9B-5L-IVは、ウェーハの各バッチで最大限の精度と再現性を確保するために、厳格な性能テストを実施しています。SPEEDFAM 9B-5L-IVのモジュラー設計により、異なるウエハサイズに素早く調整できます。その高度な診断とプログラム可能なユーザーインターフェイスは、継続的な監視とトラブルシューティング機能だけでなく、オペレータのための有用なリマインダーとガイダンスを提供します。このシステムは、Ethernet接続を介してリモートで監視でき、リモートサポート、トラブルシューティング、診断が可能です。9B-5L-IVは、チップ製造またはMEMS(マイクロエレクトロメカニカルシステム)製造業界のウエハ研削、ラッピング、研磨のための実行可能なソリューションです。3つの重要なプロセスを1台のマシンに統合し、オープンアーキテクチャと高度な診断機能により、コストを削減し、品質保証を向上させます。SPEEDFAM 9B-5L-IVは、半導体ウェーハの精密加工に有効で信頼性の高いユニットです。
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