中古 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9191615 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-IVは、真に革新的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この直感的なシステムは、窒化ガリウム（GaN）半導体からシリコンオンインシュレーター（SOI）デバイスまで、今日最も重要な材料向けに特別に設計されています。6軸の産業用ロボットで、2つのプロセスヘッド、大径ホイール、ポリクールホイールをサポートしています。また、カッティングヘッドとソフトベルトグラインダーを備えています。カッティングヘッドとソフトベルトグラインダーは、速度調整とデジタル位置制御を備え、小さなメッシュの正確な切断と研削を可能にします。産業用ロボットアームは高精度で再現性があり、材料損失と生産拒否を大幅に低減します。さらに、低い欠陥率と高い歩留まりを確保します。9B-5L-IVには大径ホイールを搭載しており、研削とラッピングによって1ステップで大きな基板を加工します。このホイールには真空チャックが装備されており、調整可能であり、さまざまな種類とサイズの基板を処理することができます。ポリクールホイールは、大型基板のラッピングと研磨に特化したユニークなホイールです。この車輪は水ベースの冷却剤で満たされる冷却室を収容する。クーラントは専用のポンプでホイール上に循環し、安定した一定の冷却を可能にします。この冷却により、熱勾配および熱関連の欠陥を低減し、優れた表面仕上げを可能にします。SPEEDFAM 9B-5L-IVはまた、消費電力を削減し、寿命の信頼性を高める強力な電気駆動を備えています。さらに、高度な診断、アラームユニット、自動安全シャットオフ装置により、ユーザーフレンドリーで安全で信頼性の高いツールとなります。9B-5L-IVはハイテク、費用効果が大きく、信頼できるウェーハの粉砕、ラッピングおよび磨く資産です。そのユニークな機能と能力は、今日の挑戦的な基板の処理に理想的な選択肢です。それは最高の磨く精密を必要とする材料のための革新的な解決です。