中古 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181276 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-IVは、半導体製造プロセスを中心に使用される洗練されたウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。多種多様な素材や形状に対応できる完全自動化された信頼性を備えています。このシステムは、ウェーハを効果的に研削、ラッピング、研磨するために協力するいくつかのコンポーネントで構成されています。ウェハステージを移動するロボットアーム、研削、ラッピング、研磨チャンバー、回転ホイール、プロセスデータを監視するためのインライン計量ブリッジなどがあります。ロボットアームは、ウェハステージを研削、ラッピング、研磨室に慎重に移動させるために使用されます。チャンバーは温度制御され、材料が処理されている間も理想的な状態に保たれるようにします。内部には、ホイールの下にウェーハを回転させて研磨する回転ホイールも内蔵しています。研削、ラッピング、研磨チャンバーは、ウェーハに適用される速度と圧力を制御するための調整可能な設定を備えています。ウェーハに印加される圧力は、ウェーハの材料に基づいて正しい量が印加されるように調整することができます。これは、プロセス中に可能な限り最良の結果が達成されるようにするのに役立ちます。処理が完了すると、ウェーハステージがチャンバーから移動し、収集されたデータがチェックされます。インライン計量ブリッジは、研削、ラッピング、研磨プロセス中にウェーハから除去された材料の量を測定します。このデータは、治療プロセス中に正しい圧力が適用されたことを確認するために使用されます。9B-5L-IVを使用することで、製造メーカーはプロセスが効率的で信頼性が高いことを確認できます。プロセス中に使用される圧力と速度を制御する機能と、ウェーハから除去された材料の量を測定する機能により、すべての製造製品で一貫した結果が得られます。これにより、SPEEDFAM 9B-5L-IV現代の半導体産業において貴重なツールとなります。