中古 SPEEDFAM 9B-5L-IV #9181275 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-IVは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨の自動化された装置です。これは、最も要求の厳しいアプリケーションに最高の精度と再現性を提供する5軸システムです。ダイヤモンドやSiCなどのシリコンやその他の繊細な物質の研削、ラッピング、研磨の3つのレベルを提供しています。9B-5L-IVユニットは、半導体ウェーハと連携し、要求の厳しい研磨・研磨作業を行うように設計されています。KLPS （Kinematic Logarithmic Positioning Tool）を使用しています。精密な制御を維持しながら、工具ヘッドを3軸、さらに2軸を動かしてワークを配置します。これにより、ウェーハの目的のジオメトリと正確な仕上げが可能になります。また、KLPS制御アセットは3D補間機能を利用しており、不規則な形状のウェーハを追跡することができます。SPEEDFAM 9B-5L-IVは、高精度の研削、ラッピング、研磨用途に理想的な堅牢な電動スピンドルを備えています。クランプ力を監視するロードセルを装備しています。これは、材料がオーバークランプによって損傷しないことを保証します。スピンドルの油冷機能により、操作中にユニットが過熱しないようにします。研削/研磨ディスクの選択は、微細粒子のための50um-0。2 μ m（スーパーフィニション）、粗い在庫のための25-250 μ mの範囲です。これは、効率的な研削プロセスを容易にダイレクトダイヤモンドメッキラッピングプレートをサポートしています。9B-5L-IVはまた、自動研削、ラッピング、研磨プロセスを可能にするコンピュータ数値制御（CNC）をサポートしています。内蔵のCCDフィクスチャーカメラは、研削/研磨ウェハの画像をキャプチャすることができ、ユーザーは操作の品質を監視することができます。その使いやすいソフトウェアは、操作を容易にするために、自動アライメント、プロファイル設定、エッジ検出などのさまざまなパラメータをユーザーに提供します。さらに、研削工程中に機器に付着することができる粉砕製品や汚れの微粒子をフィルタリングするオイルミストクリーナーを内蔵し、クリーンな操作を実現しています。これらの機能はすべてSPEEDFAM 9B-5L-IV装置に組み込まれており、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨作業において競争力のある選択肢となっています。