中古 SPEEDFAM 9B-5L-IV #293797713 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-IVは、シリコンや石英からSiC、サファイア、各種金属まで、さまざまな基板で動作する高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。機械的および光学的構成をシームレスに統合することで、研削、ラッピング、研磨ウエハにおいて比類のないレベルの精度と精度を達成できます。このシステムには、ミクロン精度のウエハラッピングプロセス、自動ウェハゲージングユニット、ナノメートルレベルの研磨仕上げメカニズムなど、複数の独自技術が組み込まれています。9B-5L-IVの中心は、リニアドライブマシンで作動する精密なダイヤモンド研削ホイールで構成されています。この組み合わせは、1平方インチあたり最大15,000ポンドの研削力を達成することができ、比類のない精度と制御を提供し、同時に最大切削速度を生成します。スピンドルは最大18,000rpmの速度で回転することができ、直径10ミクロンまでのウェーハを迅速かつ正確に研削することができます。研削能力に加えて、SPEEDFAM 9B-5L-IVは、ダイヤモンドボンディングディスクを搭載した3軸ガントリーを介して制御されるウェハラップ処理も備えています。これらのディスクは圧力下でウェーハの周りを移動し、ナノメートルの精度で均一な表面仕上げを実現します。このツールには、視覚ガイダンスシステムも含まれており、最小のウェーハでも正確で反復可能な結果を提供します。9B-5L-IVには自動ウェーハゲージアセットも装備されており、研削およびラッピングプロセスを監視する際に、より高い精度と制御を提供します。ウェーハ表面の凹凸を検出し、それに応じた補正が可能です。最後に、研磨パッドとマイクロプロセッサ制御の回転ヘッドを組み合わせて、研磨プロセスも自動化されます。この装置は、ナノメートルレベルの精度と再現性を備えた32 Raまでの仕上げ研磨を提供することができます。全体的に、SPEEDFAM 9B-5L-IVは、優れた品質のウェーハ研削、ラッピング、研磨結果を達成するための完璧なマシンです。高度な技術と精密グレードの部品をシームレスに統合することで、比類のないレベルの精度と効率を実現し、それぞれの結果は再現性と信頼性に優れています。