中古 SPEEDFAM 9B-5L-III #9311816 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-IIIは、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。大型の3「-5」半導体ウェーハの加工用に設計されたこのシステムは、単一の高速動作で高い幾何学的精度と表面仕上げを実現することができます。また、高度な機械機能を搭載した完全自動化された制御機を搭載し、精密制御とエンジニアリング処理を可能にします。SPEEDFAM 9 B 5 L IIIは、ウェーハ両面のシングルパス加工を同時に行うことで、プロファイルと並列性を実現します。このツールの独自の設計により、制御可能な回転速度、圧力、送り速度が可能になり、パラメーターの精密制御が可能になります。強制研磨接触は2。7馬力のDCサーボモータで駆動され、調整可能な工具治具と組み合わされて、安全で一貫したウェーハ処理を保証します。9B-5L-IIIには、自動化された操作を監視および調整するためのProgramable Logic Controller （PLC）が含まれています。このアセットには、自動サイクルコントロールとクアドラントアレイのスピンドルヘッド設計も含まれています。コーナーポリッシュを最小限に抑え、オペレータの干渉をなくし、ウェーハ表面全体の均一性を確保します。このモデルのリアルタイムグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、広範なオペレータのフィードバックと制御を提供するように設計されており、強力な作業処理および資産監視装置を統合することで、効率的で再現可能な操作を保証します。9 B 5 L IIIにはカスタマイズ可能な幅広い研磨剤が含まれており、オペレータはアプリケーションに応じて最適な加工条件を簡単に選択できます。また、堅牢な構造、高度な駆動技術、モジュラー設計により、メンテナンスと保守が容易に行えるように設計されています。SPEEDFAM 9B-5L-IIIは、高い表面仕上げと形状精度を必要とする高精度の研磨および研削アプリケーションに最適で、信頼性の高い再現性と優れた性能を提供します。1時間あたり最大900ウェハのスループット容量により、生産性を向上させ、運用コストを削減できます。