中古 SPEEDFAM 9B-5L-42 #9224846 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-42は、SPEEDFAM International Incorporated製の高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それは電気通信、パワー装置、MEMS、 MEMC、 SOIおよびウェーハレベルの光学工業のために広く利用されています。このシステムには、4 「x2」、 6 「x3」または8 「x4」という5つのラッピングプレートが装備され、2つの3ヘッド構成に取り付けられています。最初の構成は5L-42Nで、閉じた可変流循環ラッピングオイルユニットと、ラッピングサイクル間のプレートをきれいにしてウェーハを準備するための低電力ブラシが含まれています。2番目の構成は5L-42Cで、代わりにクーラント循環タンクとファン冷却が含まれています。どちらの構成も、½ HPモーターで駆動される36インチグラインドホイール、1 HPモーターで駆動される420mmアイドラーテーブル、デジタルテンションユニット、特別な研磨および研磨ステップ用のラッピング/研磨プラテン、バリ取り用の粉末バブルマシンを備えています。5L-42ツールは、±1µmまでのラッピング精度で、優れたラッピング精度を提供します。粉砕の高い取り外し率、2µm/secまでの速度；そして容易な操作のための直観的な9"色のタッチスクリーンおよび制御およびデータロギングのためのプログラム可能な論理コントローラー（PLC）との自動化された操作。さらに、アセットは堅牢なデザインを誇り、あらゆるタイプのウェーハに適しています。ウェットおよび乾燥処理用の回転コンベア、ウェハチャック、CPUベースの制御ステーションなど、9B-5L-42にもカスタマイズ可能なオプションを追加できます。このモデルはモジュラー構造も備えており、センサーヘッドコンピュータインターフェイスや自動ウェハローディングシステムなどのより強力なコンポーネントや機能に簡単にアップグレードできます。全体として、SPEEDFAM 9B-5L-42は、優れたラッピング精度、高い除去率、高度なオートメーション、さまざまなカスタマイズ可能なオプションを提供する信頼性の高い人間工学に基づいた機器です。さまざまな業界で使用されているこのシステムは、研削、ラッピング、研磨時に究極の精度を求める人々に信頼できる性能を提供します。