中古 SPEEDFAM 9B-5L-4 #9086162 を販売中

SPEEDFAM 9B-5L-4
ID: 9086162
ヴィンテージ: 1995
Lapping systems 1995 vintage.
SPEEDFAM 9B-5L-4は、半導体やその他のウェーハ上に高品質で欠陥のない表面を作成するために使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、専用の治具やアクセサリを使用して、さまざまなウエハサイズとプロセスを処理することができます。9B-5L-4ユニットは、大きなメインコンポーネントといくつかの小さなアクセサリーで構成されています。主成分はヘッドで、5軸の研削/研磨スピンドルとブエルトタイプのホイールで構成されています。この2つの組み合わせにより、高速カットが可能となり、多様なウエハサイズを効率的に処理することができます。また、高速カットにより、汚染を最小限に抑えた高品質の表面が作成されます。さらに、ヘッドには圧力調整可能な範囲の0-300PSIがあり、研削とラッピング中に接触を正確に調整します。さらに、マシンには、正確なラッピングと研磨のための可変速度ミドルテンションラップが装備されています。このラップは、特定の研削および研磨液を使用して、導電性材料と非導電材料の両方に対応できます。その結果、このツールはさまざまなラッピングおよび研磨アプリケーションに適しています。この資産はまた、最高の研削結果を得るためにステップバイステップ操作で使いやすいデューティサイクル制御を楽しんでいます。それは直感的な機械操作のための洗練された2D表示を備え、機械の状態および性能を制御し、調節するのに使用される多様なソフトウェアと互換性があります。また、騒音発生を最小限に抑えるため、動作時の音響レベルを低く保つよう設計されています。SPEEDFAMの9B-5L-4装置セットはまた生産性および性能を保障するように設計されています。それは機械および付属品をカバーする広範囲の保証によって支えられます。さらに、さまざまな用途に対応した幅広い研磨媒体と互換性があり、正確なシステムチューニングとプロセス設定が可能です。様々な機能を備えた9B-5L-4ユニットは、さまざまな半導体ウェーハやその他の材料上に高品質で欠陥のない表面を作成するのに理想的です。
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