中古 SPEEDFAM 9B-5B-IV #9223853 を販売中

SPEEDFAM 9B-5B-IVは、ウェーハの精密摩耗、研磨、表面改質のために設計された高度な研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、3つの特殊研磨ホイールを組み合わせてウェーハを処理します。すべての車輪は密封された環境で固定され、精密な粉砕および磨くことのために縦の平面で回ります。研削およびラッピングホイールは、複合スピンドルに固定された微細または粗い酸化アルミニウム粒子で構成されています。このスピンドルは正確な速度で回転し、ウェーハを損傷することなく研削およびラッピング処理を行うことができます。研削工程はウェーハ上に平らな表面を作成し、ラッピング工程は表面仕上げを改善します。ユニットの仕上げホイールは多結晶ダイヤモンド（PCD）ホイールです。PCDは酸化アルミニウムよりも有意に研磨性があり、ウェーハの表面粗さを増加させるために使用されます。これは、正確な振動運動とホイールのRPMの徐々な増加によって実現されます。このプロセスは、より小さな粒子を除去し、より高い精度を可能にします。9B-5B-IV機械に簡単な維持および修理を可能にするモジュラー設計があります。それは研摩プロセスに関連付けられている潜在的な危険からオペレータを保護する作り付けの保護キャビネットを含んでいます。工具全体をPLCとPCを介して監視および制御し、オペレータが正しい研削プロセスを選択するように設定します。データロギングとレポートは、プロセスと部品履歴の追跡に使用できます。この資産は、自動化を念頭に置いて設計されています。セットアップ時間を最小限に抑え、設置面積も比較的少ないため、1時間あたり最大50個のウェーハ処理が可能です。このモデルは、複数のツールやモジュールを追加する機能を含む、お客様の特定のニーズに合わせてカスタマイズすることができます。全体的にSPEEDFAM 9B-5B-IVは、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための強力なツールです。平らで滑らかな表面を正確に生成することができ、また優れた表面仕上げを提供します。装置のオートメーション機能により、特定の生産ニーズを満たすように構成することができます。