中古 SPEEDFAM 9B-5 #9412700 を販売中
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SPEEDFAM 9B-5は、SPEEDFAM株式会社が製造するウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。シリコンなどの半導体ウェーハのサブミクロン研磨に使用するように設計されています。9B-5には強力なデジタルモーターコントローラが装備されており、正確な研削、ラッピング、研磨操作を提供するようにプログラムすることができます。このシステムにはエンハンスドサイクルコントローラが搭載されており、タイムモーションサイクルと正確な力の調整が可能です。これは自動モチベーション機能でさらに強化され、切削速度と力を自動的に調整して最適な性能を提供します。高精度のモーターを備えたロードビーム搭載サーボカラーがユニットの一部として使用され、一定のダウンフォースを確保し、より高い精度を提供します。これにはアームクランプ装置が付属しており、正確なサンプルの位置決めと除去が可能です。また、サンプルの動きを制御するための6軸リニアガイドシステム、他のシステムよりも優れた精度の生産、さらに改善された制御のための6点サスペンションツールを誇っています。SPEEDFAM 9B-5は、クリーンルームで使用するために特別に設計されており、吸気機能が統合されているため、ほこりの粒子や空気中の汚染物質が最小限に抑えられています。クーラントアセットは、熱による損傷のリスクを最小限に抑え、調整可能なウェーハサポートは、さまざまな直径と厚さのウェーハに容易に対応します。9B-5の構造は鋳造アルミニウムおよび高級なステンレス鋼から組み立てられ、それに優秀な長寿を与えますので堅牢です。このモデルは非常にユーザーフレンドリーで、直感的なキーパッドとLCDディスプレイで即座に包括的なフィードバックを提供します。SPEEDFAM 9B-5には、包括的な診断機能とリモートのトラブルシューティング機能も搭載されています。全体として、9B-5は、その精度、精度、および耐久性で知られている強力で汎用性と費用対効果の高いウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。
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