中古 SPEEDFAM 9B-5 #9215190 を販売中

SPEEDFAM 9B-5は、半導体ウェーハ上の極めて平坦な表面を高精度に生産するために設計された精密研削、ラッピング、研磨装置です。高度な設計構造と非常に高性能と価格比で、9B-5は大量生産と低収量の研磨に最適です。このシステムは、性能と効率を最大限に高めるために構築されたクイックチェンジベッド構成を備えており、簡単なウエハハンドリングとラッピングおよび研磨部品の交換を可能にします。SPEEDFAM 9B-5は、正確なウェハデータ取得と保存のための最新のデジタル信号処理（DSP）技術も備えています。プログラマブルデジタル信号プロセッサを搭載した強力な850-Wモータにより、同期速度を確保し、振動を低減し、研削および研磨時のターボ精度を向上させます。9B-5は、直径8インチまでのシングルウェーハと両面ウェーハ、および大面積ウェーハの両方を迅速かつ正確に処理するように設計されています。ラッピングおよび研磨部品は、ステップフィードと連続フィード操作の両方を可能にするサーボ制御操作で正確に調整することができます。ウェーハに接触する部品はすべて、長寿命を確保するために硬い摩耗材で作られており、ウェーハの平坦性はインラインオプティカルユニットで保証されています。機械は標準的なダイヤモンドの研摩剤および表面の終わりのより高い標準を保証する白いアルミナのスラリーの範囲を使用します。さらに高速なウェーハ処理のために、SPEEDFAM 9B-5を設定して、連続的に可変的な研磨速度を与えることができます。バリプロセスは、チッピングまたはフレークの可能性を低減するために、可変速度制御ツールで調整することもできます。アセットの安全性は、プロセスチャンバー内の高い酸素含有量で保証され、ウェーハのクリーンで保護された環境を確保します。9B-5は高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルで、精度と高速、高収率の生産のために構築されています。より高い精度と生産速度が要求される用途に最適です。