中古 SPEEDFAM 9B-5 #9199871 を販売中

ID: 9199871
Double sided lapping machine Stainless steel ID: 150 mm.
SPEEDFAM 9B-5ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、ラウンドウェーハの研磨に特化した堅牢でユーザーフレンドリーなシステムです。さまざまな機能を備えた9B-5は、オプトエレクトロニクス部品、医療インプラント、MEMS、およびその他の先端材料の迅速かつ正確な研磨に効果的なソリューションです。ユニットには、ウェーハローディングステーション、研削ステーション、ラッピングステーション、研磨ステーションが含まれています。ウェーハローディングステーションは、研削および研磨ディスクにウェーハを転送することができます。研削ステーションは、精密に設計されたダイヤモンドホイールを使用して、ウェーハを所望の形状に形成します。調節可能な速度制御およびクーラント機械によって、粉砕は最小限の熱変形と効率的に遂行することができます。成形が完了すると、ラッピングステーションは同じダイヤモンドホイールを使用してウェーハの表面とエッジをミラー仕上げに仕上げます。研磨ステーションでは、研磨プレートを回転させて、ウエハごとに調整できるテーラードスラリーを使用して基板を研磨します。さらに、SPEEDFAM 9B-5には、ウェーハアライメントに役立ち、表面変形のないウェーハを保持する調整可能なサポートホルダーも含まれています。ユーザーフレンドリーなツールとして、9B-5は簡単な操作のための直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えています。さらに、SPEEDFAM 9B-5には、研削および研磨時に作成された粒子や残留物を除去する自動バリ取りアセットが含まれています。このモデルは安全性を考慮して設計されており、緊急停止ボタンとオペレータに優しい安全ガードが含まれています。全体的9B-5は、ウエハ研削、ラッピング、ラウンドウエハ研磨時に最高の精度と再現性を提供する高精度の装置です。SPEEDFAM 9B-5は、調整可能な速度、自動化されたバリ取り、直感的な制御により、さまざまなアプリケーションに対応する信頼性の高いソリューションです。
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