中古 SPEEDFAM 9B-5 #293798806 を販売中

SPEEDFAM 9B-5は、SPEEDFAM株式会社が製造するウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。自動化された半導体製造プロセスにおいて、高精度のウェーハ研磨と均一性を提供するように設計されています。9B-5に精密に調整された速度で回る粉砕、ラッピングおよび磨く頭部を含む7つのプロセスヘッドがあります。ディスクタイプの研削ヘッドは、回転ダイヤモンド研磨ホイールとプラネタリギアドライバーを採用し、より高い研磨/研磨速度とより良い表面仕上げ結果を達成します。ウェーハは2つのヘッドの間にしっかりと固定され、研削ディスクとプラネタリギアドライブはプログラムされたRPMで回転し、研削ホイールと接触します。ラッピングヘッドは、従来のロータリーシステムと比較して、より効率的で正確なラッピングを提供するために、発振ラップホイールとカウンターウェイトシステムを備えています。ラッピングホイールは速度とストロークレートの両方で調整可能で、プロセスを正確に制御できます。ラッピングホイールはまた、一貫した結果と高精度を確保するためにダイヤモンド研磨剤を使用しています。研磨ヘッドはプロセスの最終ステップを提供し、最高レベルの表面仕上げを保証します。SPEEDFAMの磨く頭部は異なったウエハのサイズおよび厚さを収容するように設計されています。ヘッドは発振パッドと惑星ギアドライブを使用して、最高の精度と精度を提供します。結果を改善するために、ヘッドは正確に調整された速度で回転するように設計されています。SPEEDFAM 9B-5は、高精度ウェーハ研削、ラッピング、研磨の生産のために設計されています。モジュラー設計により、複数のプロセスヘッドを追加し、柔軟性を高めます。また、高精度と再現性を確保するために、高度なデジタル測定ツールとコンピュータ制御電子/機械システムを採用しています。全体的に9B-5は、効率的な研削とラッピング、高精度の研磨、均一な表面仕上げなど、最適なウェーハ加工性能を提供します。