中古 SPEEDFAM 9B-5 #293796686 を販売中
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ID: 293796686
Lapping machine
(3) Double side motors
(4) Way systems
(3) Motor systems
Polisher stainless plate
Plate flatness: Within 5 Microns
MITSUBISHI PLC with touch screen
Power supply: 220 V, 3 Phase.
SPEEDFAM 9B-5は、ウェーハプロセスで一貫した高品質、高精度、高性能を保証するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。シリコン、ガラス、セラミックスなどの材料を使用した半導体デバイスでの超精密で高性能なアプリケーションに適しています。9B-5は様々な材料やプロセスと互換性があり、高い精度、再現性、汎用性を提供します。シリコン、石英、セラミックスなど、さまざまな厚さと材料のウェーハを処理することができ、さまざまな用途に最適なソリューションです。システムは、負荷、アンロード、研削操作のためのユーザーフレンドリーな制御ユニットで、使いやすいです。このマシンは、プロセスオートメーション、ジョブスケジューリング、データ収集のための外部ソフトウェアに接続することもできます。このマシンには、CNC制御のプロセスプログラムが付属しており、スピンドルとテーブルの速度を自動的に設定して、研削、ラッピング、研磨操作を行います。そのプログラム可能な紡錘の速度およびテーブルの回転は1から20,000のrpmに調節可能、精密で、反復可能なプロセスを可能にします。高いモーター出力と高トルク主軸により、素早い切断と高い材料除去率を実現します。このツールはまた、ウェーハに強力なグリップと最大チャッキング力を提供するフィールド実績のある真空チャックを備えています。このマシンは、ウェーハの表面全体に均一で一貫した圧力を維持することができ、完璧な粉砕を保証します。特別な自動リフト機能により、マシンの稼働中にウェーハの高速かつ効率的なロード、アンロード、変更が保証されます。このアセットには、ダイヤモンド、炭化ケイ素、酸化アルミニウムなどの研削研磨材のフルレンジが装備されています。また、あらゆるアプリケーション要件を満たすために、さまざまな研削速度とホイール形状を提供します。SPEEDFAM 9B-5モデルは、オートホイールチェンジャーやOリング研削ホイールなど、さまざまなオプションが用意されています。また、集塵、安全インターロック、最大のオペレータ保護のためのキースイッチなどの強化された安全機能を提供します。9B-5はウェーハ研削、ラッピング、研磨用途向けに設計された信頼性の高い堅牢な装置です。それはほとんどの半導体および他の電子デバイスの適用のための最高品質の標準を満たすために柔軟性および正確さを提供します。
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