中古 SPEEDFAM 9B-5 #293606725 を販売中
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SPEEDFAM 9B-5は、半導体業界で使用される多目的ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、石英、セラミック、またはシリコンを含むあらゆるサイズまたは材料のウェーハを粉砕し、ラップし、磨くために一連の惑星スピンドルを使用します。それは基本的な磨く研摩車輪が提供できるより高いレベルのウェーハの終わりを達成するのに使用される粉砕および磨くことの高度の形態です。9B-5はメインフレーム、モーターコントローラ、オプションの電源で構成されています。メインフレームは、粉砕および研磨惑星、サンプルホルダー、および付属品を収容する堅牢で信頼性の高い鉄骨構造です。モーターコントローラは、速度と熱制御を提供し、3つの研削、ラッピング、研磨フェーズのそれぞれで正確な性能を発揮します。オプションの電源を使用して、研削および研磨動作に最適な電流を供給し、効率的なウェーハ処理を実現します。SPEEDFAM 9B-5は、1mmから200mmまで、非常に幅広いウエハサイズに対応できます。さらに、システムは、特定の処理タスクの要件を満たすために、2惑星または3惑星のセットアップのいずれかに設定することができます。2つのプラネットユニットは、片面または両面ウェハ研削に最適ですが、3つのプラネットマシンはマルチタスク研磨サイクルに必要です。すべての惑星は非常に調節可能であり、研削と研磨の両方の操作のためのツールの簡単かつ正確なセットアップを可能にします。9B-5は、その汎用性を拡大するアクセサリーの広い範囲を備えています。ロボットローダーなどの自動化機能により、より大きな生産稼働に対応できます。さらに、スピンチャックや真空チャックなどのオプションにより、ウェーハ加工の精度と再現性が向上します。また、研磨・研磨研磨材も豊富に取り揃えており、幅広いウエハ材料に最適な性能を発揮します。SPEEDFAM 9B-5は、高速で幅広いウェーハ材料の研削、ラッピング、研磨のための効率的で信頼性の高いソリューションをユーザーに提供します。高度な機能により、コスト削減、人件費の削減、生産品質の向上に最適なツールです。
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