中古 SPEEDFAM 9B-14P #293821739 を販売中

SPEEDFAM 9B-14Pは、半導体をはじめとするウェーハの高精度・高品質な研磨・研磨を可能にするウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。このシステムは、さまざまなカスタムプロセス機能を提供し、超微細研削、研磨、平面化、その他の表面処理などのアプリケーションに最適です。工程精度と均一性に優れた研削・研磨板など、さまざまな部品を搭載しています。これらのプラテンはまた速い版の交換機械を特色にし、効率的で、速いバッチ変更を可能にします。工具の作業チャンバーも、効率的な処理とクリーンな操作のために最適化されています。囲まれた部屋は一貫した、正確な実用温度を保障するために環境制御システムと合います。アセットには、ダイヤモンド研磨剤、ラッピングホイル、フェルト研磨剤などのプロセスコンディショナーとメディアの選択も含まれています。また、ウェーハポケット、ウェーハキャリア、自動ウェーハハンドリングシステムを備えたインターフェースなど、さまざまな自動ローディングおよびアンロード機能を備えています。これにより、研削、ラッピング、研磨プロセスの自動化が可能になり、ワークフローの効率が向上します。9B-14Pは、プロセス監視および制御システム、データロギングおよび通信モジュール、安全システム、環境監視システムなど、さまざまな機能を備えています。SPEEDFAM 9B-14Pのその他の機能には、ユーザーフレンドリーなPLCベースの制御機器が含まれています。制御システムには、画像解析、プロセス監視および制御、プロセス最適化、レシピ管理などのさまざまな診断機能も含まれています。これにより、研削、ラッピング、研磨プロセスを最適化し、バッチ・ツー・バッチ・プロセスパラメータを監視することができます。全体として、9B-14Pは、半導体やその他のウェーハの高精度で高品質な研削、ラッピング、研磨を提供するように設計されている強力で信頼性の高いユニットです。このマシンは、さまざまな自動化されたプロセス機能を提供し、ユーザーのワークフロー効率、プロセス精度、均一性、データロギングと通信、安全システム、環境モニタリングを提供するように設計されたさまざまなコンポーネントと機能を備えています。